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碳化锗红外增透保护膜的制备工艺与性能研究

朱景芝
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碳化锗红外增透保护膜的制备工艺与性能研究

朱景芝1
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作者信息

  • 1. 西北工业大学
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关键词

红外增透保护膜/碳化锗/系设计/射频磁控反应溅射/折射率/工艺参数

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授予学位

硕士

学科专业

金属材料及热处理

导师

刘正堂

学位年度

1997

学位授予单位

西北工业大学

语种

中文

中图分类号

TG
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