摘要
微通道板(MCP)防离子反馈膜本质上是一种超薄非晶态Al<,2>O<,3>连续膜,研究MCP防离子反馈膜及其对Ⅲ代微光管分辨力的影响的目的是为提高Ⅲ代微光管的寿命和分辨力性能.二极骤冷直流离子溅射技术是制备MCP防离子反馈膜的一种可行性方案,其中MCP不浸水工艺制备的掩膜提高了防离子反馈的质量,紫外辐射脱膜降低了带膜MCP通道内表面的碳污染.为探讨MCP防离子反馈膜对Ⅲ代微光管分辨力的影响,该文推导了Ⅲ代微光管MTF的理论表达式,计算了Ⅲ代微光管的极限分辨力,建立了Ⅲ代微光管的阈值探测理论模型.无碳污染的MCP防离子反馈膜新工艺是提高Ⅲ代微光管寿命和分辨力的有效途径.新工艺由自持连续有机衬底的制备、铝膜的沉积和防离子反馈膜的贴附三道工序组成.新工艺避免了MCP同有机膜的直接接触,MCP的通道内表面不受碳污染.测试结果表明,新工艺不影响MCP的体电阻、暗电流和工作寿命,对MCP的电子增益影响较小,新工艺制备的防离子反馈膜膜层碳含量低.
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