声表面波（SAW）传感器因其灵敏度高、检测时间短、稳定性好、体积小、成本低等优点而发展潜力巨大。氧化锌（ZnO）作为合成工艺简单、电子迁移率高、可控制形貌并产生空位缺陷的重要金属氧化物半导体材料，十分适合用来进行改性，并作为传感器的敏感层，能够达到增强气敏和湿敏性能的效果。本论文采用热稳定性好的ST-cut石英作为压电基底，测出温度频率系数（TCF）值为0.12ppm/℃，并采用水热法制备出花状纳米ZnO作为SAW传感器的敏感薄膜进行气敏和湿敏测试，测试结果作为对照组，分别将ZnO与氨基化多壁碳纳米管（MWCNTs-NH2）和海藻酸钠（SA）进行复合，制备基于ZnO/MWCNTs-NH2复合膜的氨气传感器和基于ZnO/SA复合膜的传感器的湿度传感器。 与基于ZnO的传感器对比，基于ZnO/MWCNTs-NH2复合膜的传感器拥有更好的氨气传感性能，这是由于ZnO/MWCNTs-NH2增大了比表面积和孔隙，增多了空位缺陷。气敏测试中，在100ppm浓度NH3下频率响应达到-2.7kHz，最低检测下限为0.1ppm，并拥有较快的响应与恢复时间，较好的选择性、短期重复性和长期稳定性。分别探究了反应阶段中发生不同方向频移变化的原因，低浓度NH3下正频率响应是由于少量的NH3分子和空气中的H2O分子先被敏感薄膜吸附进入膜内孔隙中，改变了膜的弹性模量，起主导作用的是弹性负载响应。高浓度NH3下发生负频率响应的原因是随着NH3分子增多，膜内孔隙减少，NH3分子吸附在复合膜的表面，增加了膜的质量，从而质量负载效应起主要作用。 通过与SA复合后制备的ZnO/SA湿度传感器比基于ZnO的SAW传感器提升了湿敏传感性能，复合膜上增加的官能团有利于吸附更多的H2O分子。基于ZnO/SA的湿度传感器具有高灵敏度，在30%RH-90%RH湿度变化范围内产生了-26.4kHz的频移，二者呈线性关系。主要影响频率响应变化的因素为电负载效应和质量负载效应，前者是由于膜内的电荷转移和水之间的电离，后者是H2O分子被复合膜表面吸附形成氢键增加了膜的质量。
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