外延生长技术

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中文摘要：外延生长技术共包括:外延生长概述，衬底的制备、气相外延生长、硅气相外延生长、液相外延生长、固相外延生长、异质外延生长等内容。

作者：

杨树人、丁墨

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出版年：

1992

出版社：

国防工业出版社

ISBN：

7-118-00918-0

出版日期：

1992-7

页数：

482