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表面技术
中国兵器工业第五九研究所；中国兵工学会防腐包装分会；中国兵器工业防腐包装情报网
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中国兵器工业第五九研究所；中国兵工学会防腐包装分会；中国兵器工业防腐包装情报网

吴护林（兼）

双月刊

1001-3660

wjqkbm@vip.163.com

023-68792193

400039

重庆市2331信箱（重庆市九龙破区石桥铺渝州路33号）

表面技术/Journal Surface TechnologyCSCD北大核心CSTPCDEI
查看更多>>本刊主要报道金属、非金属表面技术方面的最新科学研究成果及新技术应用成果等方面的内容。
正式出版
收录年代

    湿法刻蚀条件对TFT中Cu电极坡度角和均一性的影响及工艺参数优化

    刘丹陈国良黄中浩方亮...
    213-220页
    查看更多>>摘要：目的 在高世代薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)产线的栅极刻蚀制程,明确大气压等离子体(Atmosphere Pressure Plasma,APP)清洗功率、清洗时间及刻蚀时间对刻蚀性能(关键尺寸偏差、均一性、坡度角)的影响规律,并获得最佳工艺条件,进而提升良率.方法 以 APP 清洗功率、清洗时间和刻蚀时间为影响因素,以关键尺寸偏差(CD Bias)、均一性、坡度角作为因变量,开展正交试验,明确因素影响重要性顺序;然后,对Cu电极坡度角的形成和刻蚀均一性变化进行分析;最后,采用回归分析获得刻蚀性能与刻蚀时间的函数关系式.结果 结果表明:刻蚀时间对刻蚀性能的影响最大,对 APP 清洁时间和功率的影响较小.刻蚀时间延长,关键尺寸偏差(CD Bias)增加、均一性变差、坡度角变大.为改善均一性和平缓坡度角,应缩短刻蚀时间.最佳工艺组合为:刻蚀时间 85 s,APP电压9 kV,APP传输速度 5 400 r/min.结论 刻蚀时间延长,未被光刻胶覆盖的 Cu 膜层被完全刻蚀,形成台阶,该台阶使刻蚀液形成回流路径.沿着回流路径,刻蚀液浓度、温度逐渐下降,刻蚀均一性由此恶化,坡度角因此增加.采用回归分析得到的刻蚀性能与刻蚀时间的函数关系式,为预测刻蚀效果和优选刻蚀时间提供了依据.

    薄膜晶体管湿法刻蚀Cu电极刻蚀均一性坡度角正交试验

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    泡沫基材-Ni-石墨烯复合镀层制备及电催化析氢性能研究

    秦海森刘丽张凤孙大明...
    221-229页
    查看更多>>摘要：目的 采用电沉积技术在泡沫基材上沉积制备 Ni-石墨烯复合镀层,期望借助泡沫基材的三维多孔结构和石墨烯的超高比表面积来改变复合材料的表面状态,进而获得高镀层的电催化析氢性能.方法 采用电沉积技术将石墨烯作为第二相粒子沉积,制备了泡沫基材-Ni-石墨烯复合电极,通过SEM和EDS研究了其微观形貌及成分,并利用电化学工作站完成了镀层电极的极化曲线、交流阻抗和电解水稳定性测试,使用控制变量法探究了镀层厚度、镀液石墨烯浓度和基材形貌对镀层电催化析氢活性的影响.结果 SEM和EDS表征发现,镀层表面形貌受镀液中石墨烯浓度影响较大,石墨烯作为第二相嵌入镀层后,明显改变了复合镀层的表面形貌,其存在形态为颗粒状,在 150 mg·L-1 时颗粒堆积最多.进一步利用电化学分析技术探究了镀层厚度、镀液石墨烯浓度和基材形貌对电极电催化析氢性能的影响,发现在一定范围内,不同厚度镀层的电催化析氢活性基本相同;石墨烯质量浓度为 150 mg·L-1时制得的电极的电催化析氢性能最优,析氢过电位为 211.2 mV(vs.RHE),且电解水稳定性良好;泡沫基材镀层的电催化析氢活性明显优于平板基材镀层.结论 石墨烯的引入和泡沫基材三维多孔结构均增大了复合镀层的比表面积,是电极表现良好的电催化析氢活性的关键.

    电沉积石墨烯泡沫基材Ni基复合镀层析氢活性

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