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期刊信息/Journal information
光学学报
光学学报

曹健林

月刊

0253-2239

aos@siom.ac.cn

021-69918427

201800

上海市嘉定区清河路390号（上海800-211信箱）

光学学报/Journal Acta Optica SinicaCSCD北大核心CSTPCDEI
查看更多>>本学报是国内外公开发行的光学学术刊物，反映中国光学科技的新概念、新成果、新进展。内容主要包括量子光学、非线性光学、适应光学、纤维光学、激光与物质相互作用、激光器件、全息和信息处理、光学元件和材料等。为我国光学科技人员与国内外同行进行学术交流、开展学术讨论以跟踪学科前沿和发展我国光学事业服务。
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    光源空间相干性对深紫外光刻照明均匀性的影响

    宋子健龚爽步扬魏爽...
    278-287页
    查看更多>>摘要：为分析空间相干性对均匀性的准确影响,提出一种基于互强度传播理论的部分相干光刻照明仿真方法.在不同照明模式和同一照明模式以及不同部分相干因子的情况下,分析空间相干性对掩模面照明均匀性的影响.结果表明,照明均匀性会随着相干度增大而减小,散斑对比度会随着相干度增大而增大.为了满足浸没式193 nm光刻机均匀性大于97.5％的照明要求,环形、二极和四极照明的空间相干度应分别小于3.37％、2.96％和3.11％,对应的散斑对比度分别小于2.81％、2.13％和2.33％.

    物理光学光刻照明系统空间相干性照明均匀性散斑

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    基于巨原子-波导系统的量子Fisher信息动力学

    马小三权家宏路云宁程木田...
    288-296页
    查看更多>>摘要：研究耦合于一维波导的巨原子的单参数和双参数量子Fisher信息动力学.详细分析了累积相位、延迟时间、相互作用耦合强度和耦合点数目对量子Fisher信息演化的影响.结果表明当累积相位为特定值且耦合强度均匀时,量子Fisher信息演化能够增强并趋于一个稳定值.稳定的量子Fisher信息对应于免退相干相互作用,因而巨原子处于束缚态.研究有助于理解巨原子-波导系统的原子态量子Fisher信息增强.

    量子光学巨原子波导量子Fisher信息动力学

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    CMOS图像传感器质子位移损伤效应实验与分析

    杨洁铖殷倩郭刚张艳文...
    297-305页
    查看更多>>摘要：为了分析不同能量质子辐射引发的位移损伤对CMOS图像传感器(CIS)参数影响的差异,以商用CIS为研究对象,在中国原子能科学研究院回旋加速器上开展了 50 MeV和90 MeV质子辐照实验,分析了不同能量及注量的质子辐照下器件的暗信号、热像素和随机电码信号(RTS)等参数的退化规律.实验结果表明:平均暗信号的增加可以用位移损伤剂量等效,而相同位移损伤剂量下50MeV质子辐照后表现出更大的暗信号非均匀性(DSNU)和热像素.像素间RTS现象是质子辐照后不同类型的缺陷所导致的.计算机辅助设计技术(TCAD)模拟结果表明深能级的点缺陷导致载流子浓度更高的热产生率,且团簇缺陷产生率高于简单点缺陷,产生率的不同导致像素间暗信号产生差异,进而产生DSNU和RTS现象.

    CMOS图像传感器质子暗信号随机电码信号缺陷

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    温变窗口光谱发射率对中波成像探测的影响

    乐岩谭勇郁品一宦克为...
    306-315页
    查看更多>>摘要：建立温变环境下红外窗口热辐射模型,模拟窗口外部环境受热场景,利用有限元法仿真不同温度点的热辐射度、温度分布及热应力分布;搭建红外窗口热辐射测量装置,在350～550 K范围内的多个温度点下,实验分别获得一种典型硫化锌红外窗口的发射率和远距离323 K热源点经过该窗口后的中波红外图像,以此研究温度变化对窗口热辐射的影响和分析红外窗口热辐射对中波成像质量的影响.结果表明,硫化锌红外窗口材料热辐射度的仿真与实验结果基本吻合,在低温条件下光谱发射率随波长变化呈现上升趋势,而随着窗口温度的升高,光谱发射率呈下降趋势,热应力分布不均是引起中波成像性能下降的主要原因.该研究结果对筛选不同应用场景下的红外窗口的方法及应用有参考意义,为高温骤变环境下自适应光学的设计提供参考,有利于规避红外成像场景干扰.

    光谱学光谱发射率热辐射度热应力分布硫化锌红外窗口

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    龙虾眼X射线光学器件的曲率半径统计规律

    张彬张臣黎龙辉戴妍峰...
    316-323页
    查看更多>>摘要：Angel型龙虾眼微孔光学(MPO)器件的独特之处在于其具备出色的4π立体角聚焦能力和最优的有效面积-质量比之一.其需要经过球面热成型处理,形成曲率半径球面,确保器件上百万量级反射X射线的微通道指向会聚于曲率中心一半位置处.因此MPO器件的X射线及光学性能与器件的曲率半径息息相关.本文对空间先导专项二期项目爱因斯坦探针宽视场望远镜所使用的468片MPO器件的曲率半径,分别采用X射线束流测试装置和自准直望远镜进行了测试,并分析了其统计特性.分析结果表明,在镜片热弯过程中,X射线球面曲率半径大于光学曲率半径,其差值存在两个峰值,分别为0.68％和1.52％.这表明X射线曲率半径和光学曲率半径存在不一致性;MPO器件的X射线曲率半径存在不均匀性,全片平均X射线曲率半径和镜片中心指向曲率半径相差0.50％.这表明后续需要进一步研究热成型相关工艺,提高球面的成型精度.

    龙虾眼微孔光学器件X射线光学统计学曲率半径

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    X射线纳米分辨立体成像及其在芯片表征中的应用

    刘聪王飞翔陶芬杜国浩...
    324-332页
    查看更多>>摘要：在芯片制造技术持续发展的背景下,对纳米量级检测的需求也随之急剧增加.然而,传统的光学、电镜和X射线检测技术都存在一定的局限性.本文提出了一种快速、无损、纳米分辨的立体成像技术,该技术基于上海光源纳米三维成像线站(BL18B)的透射X射线显微镜(TXM),结合双目立体视觉原理构建了 X射线纳米分辨立体成像系统,通过归一化互相关(NCC)匹配算法获得了标准样品分辨率靶的线条宽度、长度及深度等信息.仿真结果和分辨靶实验所得深度信息与实际深度之间的归一化标准差分别为1.441 ×10-2和8.11×10-4,验证了该方法获取样品深度信息的准确性.同时利用该方法实现了对芯片样品的精确检测,为芯片检测提供了一种新型纳米分辨无损解决方案.

    X射线立体成像透射X射线显微镜纳米尺度分辨芯片检测

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