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期刊信息/Journal information
光学学报
光学学报

曹健林

月刊

0253-2239

aos@siom.ac.cn

021-69918427

201800

上海市嘉定区清河路390号（上海800-211信箱）

光学学报/Journal Acta Optica SinicaCSCD北大核心CSTPCDEI
查看更多>>本学报是国内外公开发行的光学学术刊物，反映中国光学科技的新概念、新成果、新进展。内容主要包括量子光学、非线性光学、适应光学、纤维光学、激光与物质相互作用、激光器件、全息和信息处理、光学元件和材料等。为我国光学科技人员与国内外同行进行学术交流、开展学术讨论以跟踪学科前沿和发展我国光学事业服务。
正式出版
收录年代

    基于柔性超材料的高灵敏度拉力传感器

    邓光晟方林颖郭澳然杨军...
    304-311页
    查看更多>>摘要：提出了一种基于柔性超材料的高灵敏度拉力传感器,该超材料传感器由刻蚀在聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜表面的多方形谐振单元的平面阵列组成.拉伸柔性PDMS薄膜会改变谐振单元的结构参数,进而使传感器的谐振频率产生变化.该超材料传感器可以同时实现应变或拉力的高灵敏度检测.同时,谐振结构中央的方形连接环起到了不对称分裂间隙的作用,激发了具有更高Q值的高阶谐振模式,实现了更高的频谱分辨率.实验结果表明,施加拉力从0增大至1.2 N时,结构尺寸拉伸率达到初始状态的1.2倍,超材料的谐振峰频率从109.23 GHz红移到99.42 GHz.该传感器可以实现8.43 GHz/N的高灵敏度拉力传感.耐久性测试表明在该样品的使用中至少可以经历100次拉伸-松弛循环.所提出的传感器具有灵敏度高、加工方便、成本低和无线测量的优点,具有潜在的应用价值.

    传感器拉力传感器柔性超材料光谱高灵敏度

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    样品倾转角度对透射电镜表征纳米薄膜的影响

    张革崔云赵娇玲王涛...
    312-317页
    查看更多>>摘要：以沉积在Si[100]基底的Mo/Si多层膜为例,通过透射电镜(TEM)测量了多层膜在不同倾转角度下的界面结构,并提取了多层膜的周期厚度以及单周期中Mo层和Si层的厚度.结果表明:样品沿α方向倾转时,Mo层和Si层的测量厚度几乎没有变化,但界面粗糙度增大,这是由于旋转时薄膜的厚度方向始终与电子束垂直,而电子束穿过的TEM样品厚度Z增大;样品沿β方向倾转时,由于倾转时样品截面与电子束不垂直,造成伪影严重,无法区分Mo层和Si层,多层膜的测量总厚度随倾转角的增大先增大后减小.此外,提出了样品沿β方向倾转后测量薄膜厚度的计算公式.对于较薄的薄膜,随着倾转角β的增大,测量厚度增大;对于较厚的薄膜,随着倾转角β的增大,测量厚度先增大后减小.薄膜厚度4越小,沿β方向倾转后测量厚度的相对误差越大.当TEM样品厚度Z为10 nm时,沿β方向倾转后测量厚度的相对误差较小.

    透射电镜倾转角度薄膜界面膜层厚度

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