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期刊信息/Journal information
光学仪器
光学仪器

庄松林

双月刊

1005-5630

gxyq@periodicals.net.cn； gxyq@chinajournal.net.cn

021-55270110

200093

上海市军工路516号

光学仪器/Journal Optical InstrumentsCSTPCD
查看更多>>本刊通过学术交流、行业科技信息传播、科研成果推广，保进我国光学工业的发展并满足市场经济的需要，为广大读者服务。内容包含：光学系统、设计与研究、仪器及装置、测试技术、应用技术、光学材料与元器件、薄膜、工艺、综述、新产品技术与应用、市场信息、企业简介，以及行业信息与动态、行业标准化等栏目。其内容丰富、信息量大。
正式出版
收录年代

    共焦显微镜技术及其应用

    毛肖肖赵斌董祥美高秀敏...
    82-94页
    查看更多>>摘要：共焦显微测量是一种很有前景的技术,具有非接触测量和高精度位移识别能力,广泛应用在芯片加工、高精密仪器制造、生物医学、材料化学、工业检测等领域.其沿轴向位置高精度扫描的二维图像可用于三维重建,然而,扫描的速度限制了图像的采集速率,为了克服这一局限性,研究人员提出了许多方法对传统的共聚焦显微镜系统进行了改进.例如,基于扫描振镜光束扫描型共焦显微镜、基于数字微镜装置的共焦显微镜、差分式扫描共焦显微镜等.本文主要讨论了各种共聚焦显微镜的工作原理、物镜类型、扫描方法、优缺点及应用.随着光学核心部件的升级和各种准确、高效算法的出现,未来共焦显微镜的扫描速度会更快、应用范围更广、分辨率更高.

    共焦显微三维成像位移识别扫描速度

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    《光学仪器》征稿简则

    封3页
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