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真空科学与技术学报
真空科学与技术学报

吴锦雷

月刊

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真空科学与技术学报/Journal Chinese Journal of Vacuum Science and TechnologyCSCD北大核心CSTPCDEI
查看更多>>本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
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    自支撑BaTiO3薄膜的制备与铁电性研究

    张军沈玙璠苏天聪
    369-375页
    查看更多>>摘要：BaTiO3(BTO)铁电氧化物薄膜因其在非易失信息存储、智能传感、生物医疗、纳米发电机等领域潜在的应用而受到了人们的广泛关注.目前,为了保证BTO薄膜能高质量外延生长,通常选择晶格匹配的氧化物做衬底,所生长的薄膜与衬底之间存在较强的化学键,很难将其从衬底上大面积地剥离下来,所以也无法实现下一步转移到可用于高密度器件集成的的Si基衬底上.文章使用水溶Sr3Al2O6(SAO)为牺牲层的方法,将生长在Nb-SrTiO3(Nb-STO)衬底上的BTO外延薄膜可以大面积、无褶皱地转移到Si基衬底上.并且,转移后的自支撑薄膜仍然保持了完美的结晶度和室温铁电性.此结论对自支撑氧化物薄膜在高密度铁电器件的集成方面奠定了一定的基础.

    BaTiO3薄膜铁电性自支撑柔性器件

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