NSTL
氮化硅涂层钢领的制备方法
杜平凡 1王 勇 姚奎鸿 席珍强 汪新颜 徐 敏
作者信息
摘要
本发明公开了一种氮化硅涂层钢领的制备方法。在平面钢领的工作面上均 匀沉积一层氮化硅涂层。制备方法是先对钢领工作面进行抛光和清洗处理；再 将钢领放入射频等离子体增强化学气相沉积设备中，沉积面朝上，系统抽至真 空，以硅烷和氨气为反应气源，在硅烷流量10～30sccm、硅烷和氨气流量比1/2～ 1/6、沉积温度300～600℃、射频功率80～150W的条件下，沉积10～30min停止； 自然冷却，得到氮化硅涂层钢领。由于氮化硅涂层良好的耐磨和润滑性能，钢 领几乎无需走熟期便可使用；钢领性能稳定、使用寿命长；有效降低纱线毛羽 和断头，提高了纺纱效率，节约了生产成本。
申请号
CN200710070442公开号
CN100529212C专利类型
发明专利申请日
2007-08-01公开日
2009-08-19IPC分类
D01H7/52(2006.01)I申请人
浙江理工大学发明人
杜平凡/王 勇/姚奎鸿/席珍强/汪新颜/徐 敏主申请人地址
310018浙江省杭州市江干区经济技术开发区白杨街道2号大街5号国别省市代码
中国(CN)