一种扩散炉炉腔压力自动平衡控制系统

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中文摘要：本实用新型公开了一种扩散炉炉腔压力自动平衡控制系统，包括炉腔，所述炉腔前端进气管道上设有进气质量流量控制器，所述炉腔尾端排气管道上设有气泵，所述炉腔尾端与所述气泵之间的排气管道上设有排气质量流量控制器，所述炉腔尾部设有压力传感器，所述压力传感器检测端伸入所述炉腔，所述压力传感器输出端连接有主控制器，所述主控制器与所述进气质量流量控制器、排气质量流量控制器连接。本实用新型的系统能同时通过控制进气流量和排气流量来控制炉腔压力，提高了控制效率；通过控制器进行实时控制，提高了控制精度。

申请号：

CN201320058159.X

公开号：

CN203159746U

专利类型：

实用新型

申请日：

2013-02-01

公开日：

2013-08-28

IPC分类：

C30B31/18(2006.01)I

申请人：

中国电子科技集团公司第四十八研究所

发明人：

龙辉、吴得铁、刘良玉、禹庆荣

主申请人地址：

410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号

国别省市代码：

中国(CN)