NSTL
用于晶圆切割设备的紫外光学传输系统
黄见洪 1林文雄 阮开明 吴鸿春 李锦辉 邓晶 郑晖 戴殊韬 翁文 葛燕 史斐 刘华刚
作者信息
摘要
本发明一种用于晶圆切割设备的紫外光学传输系统，涉及一种应用于LED晶圆切割紫外激光精密加工设备的光学传输设计方法，属于激光精密加工领域。本发明的目的在于提出一个新的紫外激光传输设计方案，减少紫外激光器衍射光束对LED芯片的辐射强度，提高LED芯片的寿命，并实现对激光器功率的方便调节和实时监控，对于整体提高晶圆切割设备的加工性能，具有重要的实际意义。
申请号
CN201210031247公开号
CN102528277A专利类型
发明专利申请日
2012-02-13公开日
2012-07-04IPC分类
B23K26/06(2006.01)I申请人
中国科学院福建物质结构研究所发明人
黄见洪/林文雄/阮开明/吴鸿春/李锦辉/邓晶/郑晖/戴殊韬/翁文/葛燕/史斐/刘华刚主申请人地址
350002福建省福州市杨桥西路155号国别省市代码
中国(CN)