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应用于激光加工的旋转光学设计
黄见洪 1葛燕 林文雄 阮开明 翁文 刘华刚 吴鸿春 李锦辉 邓晶 郑晖 戴殊韬 史裴
作者信息
摘要
本发明涉及一种应用于激光加工的旋转光学设计。由偏振器，λ/4波片，高速旋转电机，全反镜，聚焦镜组等组成；可以实现高质量孔形、高径深比微孔高效加工，同时可以调整微孔锥度。本发明对于降低旋转光学技术难度和成本实现产业化，具有重要的实际意义。
申请号
CN201210028317公开号
CN102554465A专利类型
发明专利申请日
2012-02-08公开日
2012-07-11IPC分类
B23K26/04(2006.01)I申请人
中国科学院福建物质结构研究所发明人
黄见洪/葛燕/林文雄/阮开明/翁文/刘华刚/吴鸿春/李锦辉/邓晶/郑晖/戴殊韬/史裴主申请人地址
350002福建省福州市杨桥西路155号国别省市代码
中国(CN)