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万方数据
管状反应器的补气装置
孙友巍 1孙嵩泉 练菊 王杨阳
作者信息
摘要
本实用新型给出了一种管状反应器的补气装置；包括至少一根补气管，所述补气管后端通入镀膜所需的工艺气体，补气管前端贯穿炉尾盖板伸入LPCVD管炉内，补气管前端面开有供工艺气体排出的出气孔。通过补气管向LPCVD管炉内输送工艺气体，补充主进气管喷出的工艺气体的量，改善某区域内LPCVD镀膜的片间膜层厚度均匀性，使用本管状反应器的补气装置可以增加炉管长度，以增加恒温区长度，达到增加产能的目的。
申请号
CN201821341961.9公开号
CN208803143U专利类型
实用新型申请日
2018-08-20公开日
2019-04-30IPC分类
C23C16/455(20060101)申请人
普乐新能源(蚌埠)有限公司发明人
孙友巍/孙嵩泉/练菊/王杨阳主申请人地址
233030 安徽省蚌埠市汤和路268号国别省市代码
中国(CN)