一种用于气浮位移台的气垫驱动装置

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NSTL

中文摘要：本发明属于精密机械技术，涉及对气浮位移台驱动装置的改进。它包括一个由小车1、金属导轨2和小车驱动机构组成的传动机构，其特征在于，小车1位于移动工作台6 的内腔中，有两个挡板7和两个气垫9，小车1上沿运动方向的前后两端与移动工作台6内腔的端面8之间各安装有一个气垫9和一个挡板7。本发明的成本低，运动灵敏度较高；驱动装置的运动误差不会影响工作台的运动精度。

申请号：

CN200610127188

公开号：

CN1949397A

专利类型：

发明专利

申请日：

2006-09-12

公开日：

2007-04-18

IPC分类：

G12B5/00(2006.01)

申请人：

中国航空工业第一集团公司北京长城计量测试技术研究所

发明人：

朱振宇、兰一兵

主申请人地址：

100095北京市1066信箱

国别省市代码：

中国(CN)