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万方数据
电容失配检测电路、方法和检测设备
董显山 1黄鑫龙 周斌 黄钦文 苏伟 黄一雄 路国光 黄云
作者信息
- 1. 中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））
- 折叠
摘要
本申请涉及一种电容失配检测电路、方法和检测设备。所述电容失配检测电路与加速度计的差分电容结构连接，电容失配检测电路包括输入电路和控制器；输入电路分别与差分电容结构的上极板和差分电容结构的下极板连接，控制器的输出端与输入电路连接，控制器的输入端与差分电容结构的中间极板连接；输入电路，用于获取输入信号，并根据输入信号在差分电容结构的上下极板施加电压；控制器，用于获取差分电容结构的中间极板的输出信号，并在输出信号符合预设条件的情况下，根据输入信号确定差分电容结构的电容失配量化值。采用电容失配检测电路能够实现对电容式MEMS加速度计的本征电容失配值进行检测。
申请号
CN202211122248.6公开号
CN115586348A专利类型
发明专利申请日
2022-09-15公开日
2023-01-10IPC分类
G01P21/00(2006.01)申请人
中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））发明人
董显山/黄鑫龙/周斌/黄钦文/苏伟/黄一雄/路国光/黄云主申请人地址
511300 广东省广州市增城区朱村街朱村大道西78号国别省市代码
中国(CN)