CN201710780446.4
CN107527856A
发明专利
2017-09-01
2017-12-29
H01L21/687(2006.01)I
河北羿珩科技有限责任公司
冯伟、姚建杭、曹政、高震、高金良、蒋欣、蔡澄波、马鹏刚
066000 河北省秦皇岛市海港区北二环370号
中国(CN)