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万方数据
管状反应器的补气装置
王杨阳 1孙友巍 练菊 孙嵩泉
作者信息
摘要
本发明给出了一种管状反应器的补气装置；包括至少一根补气管，所述补气管后端通入镀膜所需的工艺气体，补气管前端贯穿炉尾盖板伸入LPCVD管炉内，补气管前端面开有供工艺气体排出的出气孔。通过补气管向LPCVD管炉内输送工艺气体，补充主进气管喷出的工艺气体的量，改善某区域内LPCVD镀膜的片间膜层厚度均匀性，使用本管状反应器的补气装置可以增加炉管长度，以增加恒温区长度，达到增加产能的目的。
申请号
CN201810948880.3公开号
CN108754457A专利类型
发明专利申请日
2018-08-20公开日
2018-11-06IPC分类
C23C16/455(2006.01)申请人
普乐新能源（蚌埠）有限公司发明人
王杨阳/孙友巍/练菊/孙嵩泉主申请人地址
233030 安徽省蚌埠市汤和路268号国别省市代码
中国(CN)