半导体目检系统

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万方数据

中文摘要：本实用新型提供了一种半导体目检系统，包括观察部，以及向所述观察部装载或卸载晶圆的转运部，其中：所述观察部包括治具本体、容纳槽和照明件，所述治具本体具有承载所述晶圆的承载面，所述容纳槽从所述承载面向所述治具本体内凹陷形成，且所述容纳槽沿着所述治具本体的径向设置，所述容纳槽可用于容纳所述转运部，所述照明件设于所述治具本体；本实用新型通过转运部替代人工转运晶圆，可以避免晶圆上留下指印和损伤，观察部替代目检盒，避免晶圆相对观察部运动时摩擦造成的损伤，从而能够降低晶圆在目检过程中人为导致的损伤率和不良率。

申请号：

CN202322533199.1

公开号：

CN221426468U

专利类型：

实用新型

申请日：

2023-09-18

公开日：

2024-07-26

IPC分类：

G01N21/88(2006.01)

申请人：

芯恩（青岛）集成电路有限公司

发明人：

聂子净、蔡少夫、刘广慧

主申请人地址：

266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401

国别省市代码：

中国(CN)