一种隧道磁阻检测的微惯性组件

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中文摘要：一种隧道磁阻检测的微惯性组件，主要结构由键合基板，支撑框架、敏感质量块、检测梁、连接块、悬臂梁、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成，在支撑框架上设置敏感质量块、检测组合梁、悬臂梁，在敏感质量块上设置检测磁体，检测组合梁由检测梁、连接块组成，隧道磁阻元件设置于键合基板凹槽上并与敏感质量块上方检测磁体相对应，对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此装置结构设计合理、简单，无需驱动，易单片集成，适合微型化。

申请号：

CN201721017176.3

公开号：

CN207395752U

专利类型：

实用新型

申请日：

2017-08-15

公开日：

2018-05-22

IPC分类：

G01C21/16(20060101)

申请人：

中北大学

发明人：

丁希聪、李孟委、秦世洋、王威、李秀源

主申请人地址：

030051 山西省太原市学院路3号

国别省市代码：

中国(CN)