本发明属于光子学材料技术领域，具体涉及一种有机/无机杂化材料波导型热光开关器件及其制备方法。它通过溶胶-凝胶技术，在硅片上制备热光开关器件，通过加载电压信号，控制光在不同路径中的切换。本发明采用的有机/无机杂化材料兼有无机材料稳定性好、损耗低和制备工艺成熟的优点和有机聚合物材料制膜方便、成本低的优点；经过选择有机和无机材料的比例，可以方便地控制材料的折射率。本发明可作为光通信系统中的保护开关使用，也可用于系统监视，及在光通信系统中作为交叉连接器、光分插复用器等，完成光信号交换、路由、上下载等功能。
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