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一种芯片表面印刷符号结构缺陷的质量评估方法

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本发明公开了一种面向芯片表面符号的结构缺陷的评估方法,其步骤包括:1、采集芯片表面印刷的符号图像作为参考符号图像或评估符号图像,并进行预处理;2、符号图像的特征提取与参考图像和待评估图像的特征配对;3、基于上一步的配对结果,使用薄板样条插值函数将待评估符号和模板符号进行结构对齐;4、再次提取待评估符号图像特征,结合参考符号图像特征,计算缺陷的大小、位置等特征,并定义出定义符合人实际感观的评估策略。本发明能应用于芯片生产的质量检测中,通过使用Shape Context、TPS等算法以及提取和分析符号图像的缺陷特征,从而得到针对芯片表面印刷符号结构质量的连续、直观的评估。

CN201811510376.1

CN109615626A

发明专利

2018-12-11

2019-04-12

G06T7/00(20170101)

合肥工业大学

罗月童、饶永明、卞景帅、吴帅

230009 安徽省合肥市包河区屯溪路193号

中国(CN)