一种用于静电诱导技术的超精密平行度调整与检测系统

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中文摘要：一种用于静电场诱导技术的超精密平行度调整与检测系统属于超精密加工和检测领域，该系统包括：基片间距及平行度检测与调整机构和基片固定制动装置，通过对基片固定制动装置上升、下降及偏转的控制实现超精密平行度调整与检测。该系统通过基片间距及平行度检测与调整机构实时检测上、下基片之间的间距和平行度，并与外部输入条件进行比较、矩阵处理，产生控制信号，控制下基片的上、下移动或偏转，从而实现对上、下基片的间距和平行度的精确控制，从而实现了对静电场诱导过程中关键参数的精确控制。

申请号：

CN201310646737

公开号：

CN103848393B

专利类型：

发明专利

申请日：

2013-12-04

公开日：

2016-01-13

IPC分类：

B81C1/00(2006.01)I

申请人：

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

发明人：

刘国杰、卢振武、鱼卫星、王泰升、孙强

主申请人地址：

130033 吉林省长春市东南湖大路3888号

国别省市代码：

中国(CN)