双扭杆谐振扫描反射镜,包含:扫描反射镜组件:包含有两根扭转杆和反射镜镜身,在 接受与扫描反射镜机械谐振频率相同的周期力激励下产生与激励力幅度对应的绕两杆连线的 往复振动;支撑系统:由基板和支臂组成,为扫描反射镜组件提供必要的支撑和约束;驱动 系统:由永磁体和驱动线圈构成,用来无接触驱动扫描反射镜组件振动;位置反馈系统:由 位置传感器及反馈信号处理电路组成,用来高灵敏度和噪声抑制性地获取与扫描反射镜组件 的振幅成比例的位置反馈信号;闭环控制系统:由驱动系统、位置反馈系统、驱动信号产生 电路组成,用来控制扫描反射镜组件的稳定振动;本发明的双扭杆谐振扫描反射镜可以实现 大口径高频率光束扫描。