一种波导激光器的制备方法

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NSTL

中文摘要：本发明公开了一种波导激光器的制备方法，包括如下步骤：对晶体进行抛光，并清洗抛光后晶体的表面；在晶体表面蒸发一层镱膜，并高温扩散处理；在晶体表面镀一层金属保护膜，光刻刻出波导；对晶体进行质子交换，退火处理，形成光波导；对光波导进行反质子交换，形成掩埋质子交换波导；对掩埋质子交换波导两端镀激光谐振腔膜，形成波导激光器。本发明波导激光器的制备方法，采用质子交换的方法制备波导激光器，降低了光折变损伤，从而使波导激光器产生稳定的连续波激光振荡，进一步利用反质子交换工艺，提高了波长转换效率。

申请号：

CN201510290351

公开号：

CN104852271A

专利类型：

发明专利

申请日：

2015-05-29

公开日：

2015-08-19

IPC分类：

H01S3/16(2006.01)I

申请人：

南京信息工程大学

发明人：

郭跃、常建华、桂诗信、严娜、唐安庆

主申请人地址：

210044 江苏省南京市浦口区宁六路219号

国别省市代码：

中国(CN)