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基于低温等离子体制备高度有序银纳米链结构的方法

戴菡 史丹丹 史先利 余鑫祥 赵志国 董晓燕

基于低温等离子体制备高度有序银纳米链结构的方法

戴菡 1史丹丹 史先利 余鑫祥 赵志国 董晓燕
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作者信息

  • 1. 烟台南山学院
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摘要

本发明属于新型光波导制备技术领域,具体为基于低温等离子体制备高度有序银纳米链结构的方法包括a.清洗硅片、b.配制一维银纳米线悬浊液、c.铺展、d.干燥步骤与现有技术不同的是,还包括:e.低温等离子体轰击:采用国产CVD管式炉,同时搭载250W射频电源,射频频率13.56 MHZ,将样品置于管式炉内,Ar气氛压强0.2Pa条件下启辉,射频功率60W~150W,处理时间3~5min,轰击过程中保证一维银纳米线的“准液态”温度低于其熔,得到高度有序银纳米链。本发明专利用简单的射频低温等离子体放电的手段,无特殊条件要求、操作容易、设备要求简单,因此特别适合商业化大规模生产。

申请号

CN202010024256.1

公开号

CN111185590A

专利类型

发明专利

申请日

2020-01-10

公开日

2020-05-22

IPC分类

B22F1/00(2006.01)

申请人

烟台南山学院

发明人

戴菡/史丹丹/史先利/余鑫祥/赵志国/董晓燕

主申请人地址

265713 山东省烟台市龙口市东海旅游度假区大学路12号

国别省市代码

中国(CN)
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