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万方数据
基于低温等离子体制备高度有序银纳米链结构的方法
戴菡 1史丹丹 史先利 余鑫祥 赵志国 董晓燕
作者信息
摘要
本发明属于新型光波导制备技术领域,具体为基于低温等离子体制备高度有序银纳米链结构的方法包括a.清洗硅片、b.配制一维银纳米线悬浊液、c.铺展、d.干燥步骤与现有技术不同的是,还包括:e.低温等离子体轰击:采用国产CVD管式炉,同时搭载250W射频电源,射频频率13.56 MHZ,将样品置于管式炉内,Ar气氛压强0.2Pa条件下启辉,射频功率60W~150W,处理时间3~5min,轰击过程中保证一维银纳米线的“准液态”温度低于其熔,得到高度有序银纳米链。本发明专利用简单的射频低温等离子体放电的手段,无特殊条件要求、操作容易、设备要求简单,因此特别适合商业化大规模生产。
申请号
CN202010024256.1公开号
CN111185590A专利类型
发明专利申请日
2020-01-10公开日
2020-05-22IPC分类
B22F1/00(2006.01)申请人
烟台南山学院发明人
戴菡/史丹丹/史先利/余鑫祥/赵志国/董晓燕主申请人地址
265713 山东省烟台市龙口市东海旅游度假区大学路12号国别省市代码
中国(CN)