微机电谐振式粘度传感器

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中文摘要：本公开提供了一种微机电谐振式粘度传感器，包括依次键合连接的第一液体接触膜、SOI组合体和第二液体接触膜，第一液体接触膜与第二液体接触膜关于SOI组合体镜像对称，SOI组合体包括谐振器，第一液体接触膜具有第一薄膜，第二液体接触膜具有第二薄膜，第一薄膜与第二薄膜的中心通过刚性体连接于谐振器的中心；第一薄膜与第二薄膜之间形成有真空腔体，谐振器位于真空腔体内，谐振器在驱动力作用下带动第一薄膜与第二薄膜沿着垂直于薄膜平面的方向谐振工作。利用本公开，粘度变化与谐振能量损耗的转换过程简单，有利于提高粘度的检测灵敏度，降低后端算法处理难度，提高传感器的输出精度，并且使得传感器的量程有大幅提升。

申请号：

CN202110682858.0

公开号：

CN113405946B

专利类型：

发明专利

申请日：

2021-06-18

公开日：

2022-08-09

IPC分类：

G01N11/16(2006.01)

申请人：

机械工业仪器仪表综合技术经济研究所

发明人：

杜晓辉、刘帅、朱敏杰、刘丹、王麟琨

主申请人地址：

100055 北京市西城区广安门外大街甲397号

国别省市代码：

中国(CN)