一种在基体材料上沉积钽或铌的方法

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中文摘要：本发明涉及一种在基体材料上沉积钽或铌的方法。其特点是，包括如下步骤：首先将NbCl5或TaCl5放入第一加热炉中升温至250℃-300℃成为气体，然后通入体积比2：1-2的氢气和氩气，一起进入放有基体材料的第二加热炉中进行反应，反应中控制氢气与NbCl5或TaCl5气体的流量比为2-5:1，加热到1000℃-1400℃进行反应，随着反应的进行，Nb或Ta粉末落在基体材料上与基体材料结合形成复合材料。本发明的优点在于工艺简单，并且特别适用于尺寸较小的容器及管、棒、带材等材料。

申请号：

CN201310358901

公开号：

CN103556124A

专利类型：

发明专利

申请日：

2013-09-22

公开日：

2014-02-05

IPC分类：

C23C16/14(2006.01)I

申请人：

宁夏东方钽业股份有限公司

发明人：

张丽、罗文、左婧懿、李彬、郑金凤、刘创红、杨国启、岳坤、王东新、白晓东、李海军、孙本双、孙磊、钟景明、刘兆刚、吴红、李娜、李军义

主申请人地址：

753000 宁夏回族自治区石嘴山市大武口区冶金路

国别省市代码：

中国(CN)