一种超低密度二氧化钛泡沫的制备方法

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中文摘要：本发明公开了一种超低密度二氧化钛泡沫的制备方法，包括：以低密度金属泡沫作为原子层沉积的基底放入原子层沉积设备的反应腔，分别依次以钛源和氧源作为生成二氧化钛的前躯体，开启原子层沉积设备循环沉积，循环沉积完成后，停止加热；待反应腔温度降低至室温后，取出低密度金属泡沫和二氧化钛泡沫复合块体，将其浸泡于稀硝酸中，以去除低密度金属泡沫，得到二氧化钛块体材料；将二氧化钛块体材料冲洗，并用超临界二氧化碳干燥，得到低密度二氧化钛泡沫。此方法制备的低密度二氧化钛泡沫可应用于激光惯性约束聚变、储氢、净化、过滤、催化支架等其相关领域。

申请号：

CN202011387020.0

公开号：

CN112429769B

专利类型：

发明专利

申请日：

2020-12-02

公开日：

2022-01-28

IPC分类：

C23C16/01(2006.01)

申请人：

中国工程物理研究院激光聚变研究中心

发明人：

徐习斌、袁磊、谭秀兰、杨睿戆、董云松、牛高

主申请人地址：

621000 四川省绵阳市科学城绵山路64号

国别省市代码：

中国(CN)