摘要
本文利用蒙特卡罗方法模拟氩气直流辉光放电鞘层内离子的运动过程。模拟基于离子与中性原子的电荷转移和弹性散射两种主要的散射过程,考虑了碰撞截面与能量相关的情况。在弹性散射中采用了刚性球碰撞的模型。通过刚性球碰撞模型的模拟得到在不同入射初能量和不同的气体密度下离子入射阴极的能量分布和角度分布,并对刚性球碰撞模型的模拟结果进行了分析和讨论。
基金项目
本文系广东省教育厅育苗项目(LYMll031)
广东省科技计划项目(20118050100013)
公益行行业科研专项经费项目(200903023-03)