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高精度平面光栅尺测量系统减振技术研究

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高精度平面光栅尺测量系统的测量精度直接影响浸没光刻机硅片台的定位精度和稳定时间.考虑到安装在平面光栅尺载体上的平面光栅尺因其载体固有频率较低,易受到主基板残余振动和高速硅片台气压扰动而产生振动,因此研究平面光栅尺载体的减振技术意义重大.文中阐述了一种新型平面光栅尺载体减振方法,围绕热解耦技术和粘滞阻尼吸振技术,进行理论建模、仿真分析和测试评价.结果 表明粘滞阻尼器和柔性结构并联系统可以显著改善平面光栅尺载体结构动态特性,提升平面光栅尺测量系统的测量精度及缩短硅片台的稳定时间.
Research on Vibration Reduction Technology of High-Precision Plane Grating Scale Measurement System

袁志扬、朱煜、成荣、张鸣、刘剑、仲凯

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清华大学机械工程系,北京100084

上海微电子装备(集团)股份有限公司,上海201203

光刻机 平面光栅尺 热解耦 粘滞阻尼 平面光栅尺测量系统 平面光栅尺载体

国家部委基金资助项目

2017ZX02101

2021

10.15918/j.tbit1001-0645.2020.084

北京理工大学学报
北京理工大学

北京理工大学学报

CSTPCDCSCD北大核心
影响因子：0.609
ISSN：1001-0645
年,卷(期)：2021.41(5)
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