百科论坛电子杂志2020，Issue(7) ：528.

GaN原子层刻蚀的研究

何静 徐振楷 蒋颖晨 曾陶然
百科论坛电子杂志2020，Issue(7) ：528.
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GaN原子层刻蚀的研究

何静 1徐振楷 1蒋颖晨 1曾陶然1
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作者信息

  • 1. 江苏师范大学 物理与电子工程学院
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摘要

本文通过调控ALE工艺技术中不同工艺参数,对GaN材料进行表面形貌和刻蚀速率的研究.通过对刻蚀结果的表征,讨论了各参数对GaN刻蚀的影响,发现选取适当的ALE工艺参数,对GaN材料进行ALE工艺,可实现低损伤刻蚀,提高刻蚀效果.

关键词

氮化镓材料/原子层刻蚀

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基金项目

这项研究工作得到了江苏省高等学校大学生创新创业训练计划项目(201910320163Y)

出版年

2020
百科论坛电子杂志

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ISSN：
参考文献量1
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