百科论坛电子杂志2020，Issue(12) ：526.DOI:10.12253/j.issn.2096-3661.2020.12.1106

压电陶瓷驱动快速反射镜双闭环控制

林锦豪
百科论坛电子杂志2020，Issue(12) ：526.DOI:10.12253/j.issn.2096-3661.2020.12.1106
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压电陶瓷驱动快速反射镜双闭环控制

林锦豪1
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  • 1. 汕头市超声仪器研究所有限公司
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摘要

压电陶瓷能够将机械能和电能相互转换,具有机电耦合效率高、位移分辨率高、响应速度快、稳定性好、无噪声等优点,是一种理想的驱动器,在微机械、微电子、精密加工、生物医学、机器人和航空航天等领域得到广泛应用.由于压电陶瓷存在迟滞、蠕变、非线性等特性,直接影响到微位移系统性能的提高.

关键词

压电陶瓷驱动/反射镜双闭环控制

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出版年

2020
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ISSN：
参考文献量1
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