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钛酸锶单晶体生长工艺研究
钛酸锶单晶体生长工艺研究
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中文摘要:
钛酸锶单晶体目前使用数控焰熔法生长工艺,通过晶体生长炉生长,对影响晶体生长参数例如气体参数、生长速度和退火工艺参数进行研究.在一定条件下,保持相适应的气体参数、生长速度和退火工艺,能把钛酸锶单晶体生长工艺中出现氧空位和热应力问题进行消除,从而生长出拥有高品质质量的单晶体,钛酸锶单晶体生长工艺研究对其应用领域未来发展有非常显著的作用.
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作者:
杨雪贤、赵方晴、王英达、麻晨寅、董颖男
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作者单位:
沈阳工程学院
关键词:
钛酸锶单晶体
生长工艺
数控焰熔法
出版年:
2020
DOI:
10.12253/j.issn.2096-3661.2020.14.524
百科论坛电子杂志
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ISSN:
年,卷(期):
2020.
(14)
参考文献量
2