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基于超短电压脉冲的Cu2O微区电沉积研究

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目的 实现基于纳秒级超短电压脉冲的Cu2O微区电沉积.方法 开发了可视化超短电压脉冲微区电化学加工系统,通过脉冲发生器施加纳秒长的超短电压脉冲到微电极与工作电极之间使局部极化发生,采用原位倒置光学显微镜实时监控微区电沉积的动态过程.使用扫描电子显微镜对Cu2O微结构的微观形貌进行表征,研究不同加工参数,包括电极间距、脉冲长度和微电极运动速度对微区电沉积Cu2O的尺寸及微观形貌的影响.结果 电极间距、脉冲长度和微电极运动速度均对沉积的Cu2O微圆盘的直径和晶粒形貌有显著影响.电极间距的增大,使沉积的Cu2O微圆盘的直径和晶粒尺寸均有所减小.电压脉冲长度越小,Cu2O微圆盘的面积越小.微电极移动的速度越快,Cu2O微圆盘的直径越小,结晶性变差.电极间距为14µm、脉冲长度为30~40 ns以及降低微电极运动速度能够获得轮廓清晰的微区电沉积结构.结论 基于纳秒级超短电压脉冲可视化微区电化学加工系统成功地在ITO导电玻璃表面沉积了直径为50~100µm的Cu2O微圆盘,为高效率Cu2O基光电器件的微加工提供了简单有效的方法.
Localized Electrochemical Deposition of Cu2O with Ultrashort Voltage Pulses

localized electrochemical depositionultrashort voltage pulsesCu2Omicrostructure

麦满芳、廖彬、曾珊、王金凤、郭燕玲、马信洲

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佛山科学技术学院物理与光电工程学院, 广东 佛山 528225

佛山科学技术学院粤港澳智能微纳光电技术联合实验室, 广东 佛山 528225

佛山科学技术学院材料科学与氢能学院, 广东 佛山 528225

微区电沉积 超短脉冲 Cu2O 微结构

国家自然科学基金广东省教育厅特色创新项目粤港澳智能微纳光电技术联合实验室项目广东省基础与应用基础研究基金

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2024

表面技术
中国兵器工业第五九研究所,中国兵工学会防腐包装分会,中国兵器工业防腐包装情报网

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CSTPCD北大核心
影响因子:1.39
ISSN:1001-3660
年,卷(期):2024.53(6)
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