智能制造2024，Issue(3) ：45-49.

RPA技术在半导体智能制造系统中的设计应用

沈瑾 章熙峰
智能制造2024，Issue(3) ：45-49.
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RPA技术在半导体智能制造系统中的设计应用

沈瑾 1章熙峰2
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作者信息

  • 1. 无锡科技职业学院,江苏 无锡 214001
  • 2. 无锡华润微电子有限公司,江苏 无锡 214000
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摘要

机器人流程自动化技术多应用于财务、金融、人力资源及银行等行业.本文介绍了RPA技术在半导体制造业中的系统设计应用,结合OCR技术、KVM技术,搭载RCM远程控制平台实现了老旧机台的自动化改造升级,节省了人力,大大减少了出错率,已成功用于某半导体企业 6 英寸产线使用中,取得了良好的经济效益.

关键词

机器人流程自动化/光字符识别/远程控制管理/KVM/半导体

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出版年

2024
智能制造
机械工业信息研究院

智能制造

影响因子：0.089
ISSN：2096-0581
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