RPA技术在半导体智能制造系统中的设计应用

扫码查看

原文链接

NETL
NSTL
万方数据

中文摘要：机器人流程自动化技术多应用于财务、金融、人力资源及银行等行业.本文介绍了RPA技术在半导体制造业中的系统设计应用,结合OCR技术、KVM技术,搭载RCM远程控制平台实现了老旧机台的自动化改造升级,节省了人力,大大减少了出错率,已成功用于某半导体企业 6 英寸产线使用中,取得了良好的经济效益.

作者：

沈瑾、章熙峰

展开 >

作者单位：

无锡科技职业学院,江苏无锡 214001

无锡华润微电子有限公司,江苏无锡 214000

关键词：

机器人流程自动化光字符识别远程控制管理 KVM 半导体

出版年：

2024

智能制造

机械工业信息研究院

智能制造

影响因子：0.089

ISSN：2096-0581

年,卷(期)：2024.(3)