智能制造2024，Issue(3) ：112-116.

300mm晶圆厂空中储存系统的设计及应用

王岸 尚成硕
智能制造2024，Issue(3) ：112-116.
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300mm晶圆厂空中储存系统的设计及应用

王岸 1尚成硕1
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  • 1. 中国电子工程设计院股份有限公司,北京 100142
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摘要

针对晶圆厂OHB系统的建设,通过调研现有OHB系统,总结并优化该系统的几个重点要素,即硬件结构、安装形式和AMHS运输轨道的匹配,以及和AMHS运输车的位置匹配,形成OHB系统的设计思路和方法.参考此方法设计的OHB系统,能充分利用洁净室上部空间,配合AMHS运输轨道和运输车,满足晶圆厂在制品储存的需要,并且不占用洁净室地面面积.该设计思路和方法可以作为晶圆厂OHB系统规划设计的参考.

关键词

全自动物料搬运系统/晶圆厂/AMHS运输轨道/空中储存区

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出版年

2024
智能制造
机械工业信息研究院

智能制造

影响因子：0.089
ISSN：2096-0581
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