300mm晶圆厂空中储存系统的设计及应用

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中文摘要：针对晶圆厂OHB系统的建设,通过调研现有OHB系统,总结并优化该系统的几个重点要素,即硬件结构、安装形式和AMHS运输轨道的匹配,以及和AMHS运输车的位置匹配,形成OHB系统的设计思路和方法.参考此方法设计的OHB系统,能充分利用洁净室上部空间,配合AMHS运输轨道和运输车,满足晶圆厂在制品储存的需要,并且不占用洁净室地面面积.该设计思路和方法可以作为晶圆厂OHB系统规划设计的参考.

作者：

王岸、尚成硕

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作者单位：

中国电子工程设计院股份有限公司,北京 100142

关键词：

全自动物料搬运系统晶圆厂 AMHS运输轨道空中储存区

出版年：

2024

智能制造

机械工业信息研究院

智能制造

影响因子：0.089

ISSN：2096-0581

年,卷(期)：2024.(3)