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100 GHz双频带通腔体滤波器的设计及制作工艺研究

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针对当前双频或多频带通滤波器主要以30 GHz以内的工作范围为主,在高频毫米波范围内以单频超宽带设计为主这一现象,设计出一款可以在100 GHz～103 GHz工作范围内存在两个超窄带工作带宽的双频腔体滤波器.两个工作频段分别为100.67 GHz～101.36 GHz和102.67 GHz～102.78 GHz,与之对应的相对带宽分别为0.68％和0.11％.所设计腔体滤波器采用UV-LIGA工艺完成其样品的制备,并使用由矢量网络分析仪和扩频模块所搭建的测试平台完成测试,经测试,相对带宽的绝对误差分别为0.19％和0.02％.
Research on Design and Manufacturing Process of 100 GHz Dual-Band Pass Cavity Filter
Aiming at the phenomenon that the current dual-frequency or multi-band pass filter is mainly based on the working range within 30 GHz,and the single-frequency ultra-wideband design is the mainstay in the high-frequency millimeter wave range,a model of dual-band cavity filter that can work in the 100 GHz～103 GHz range with two operating band is designed. The two working frequency bands are 100.67 GHz～101.36 GHz and 102.67 GHz～102.78 GHz,and the corresponding relative bandwidths are 0.68％ and 0.11％, respectively. The designed cavity filter is manufactured with the UV-LIGA process,and the test platform is built with the vector net ana-lyzer and the spread spectrum module to complete the test. The test results show that the absolute error of the relative bandwidth is 0.19％ and 0.02％ respectively.

cavity filterdual-frequencyUV-LIGA processultra-narrow bandwidth

冯伟、雷程、秦瑞杰、张斌珍、段俊萍、熊继军

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中北大学仪器与电子学院,省部共建动态测试技术国家重点实验室,山西 太原030051

腔体滤波器 双频 UV-LIGA工艺 非谐振节点 超窄带

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2024

10.3969/j.issn.1004-1699.2024.03.007

传感技术学报
东南大学 中国微米纳米技术学会

传感技术学报

CSTPCD北大核心
影响因子：1.276
ISSN：1004-1699
年,卷(期)：2024.37(3)
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