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SMS结构的光纤F-P腔压力传感器的实验研究

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对单模-多模-单模(SMS)结构的光纤法布里-珀罗(F-P)腔压力传感器进行了研究.从理论上分析了 SMS光纤F-P腔压力传感器的工作原理;并用有限元软件仿真了传感器的压力灵敏度为0.36 µm/MPa,熔接组成光纤F-P腔传感器.实验测试结果表明:灵敏度为0.0043/N,得到峰值点幅值与压力的相关性系数R2为98.80％,具有良好的线性关系,符合光纤压力传感器的设计要求.
Experimental research of optical fiber F-P cavity pressure sensor with SMS structure
Optical fiber Fabry-Perot(F-P)cavity pressure sensor based on singlemode-multimode-singlemode(SMS)structure is researched.Working principle of SMS optical fiber F-P cavity pressure sensor is theoretically analyzed,and the finite element software is used to simulate the pressure sensitivity of the sensor to be 0.36 μm/MPa.The optical fiber F-P cavity sensor is formed by fusion splicing.Experimental test results show that the sensitivity is 0.0043/N,and the correlation coefficient between the peak point amplitude and pressure is R2=98.80％,which has a good linear relationship and meets the design requirements of optical fiber pressure sensors.

optical fiber pressure sensorSMS structurefinite element simulation

谢思豪、陶青、陈思远

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湖北工业大学机械工程学院,湖北武汉 430068

现代制造质量工程湖北省重点实验室,湖北武汉 430068

光纤压力传感器 单模-多模-单模结构 有限元仿真

湖北工业大学绿色工业科技引领计划资助项目大学生创新创业训练计划项目湖北工业大学机械工程学院科研项目湖北工业大学机械工程学院科研项目湖北工业大学机械工程学院科研项目湖北工业大学机械工程学院科研项目湖北工业大学机械工程学院科研项目湖北工业大学机械工程学院科研项目湖北省自然科学基金资助项目

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2024

10.13873/J.1000-9787(2024)01-0056-03

传感器与微系统
中国电子科技集团公司第四十九研究所

传感器与微系统

CSTPCD北大核心
影响因子：0.61
ISSN：1000-9787
年,卷(期)：2024.43(1)
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