高频压电MEMS微镜设计与仿真

Design and simulation of high-frequency piezoelectric MEMS micromirror

张浩 ¹汪洋 ²武震宇³

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作者信息

1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海 201800;中国科学院大学,北京 100049
2. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海 201800
3. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海 201800;中国科学院大学,北京 100049;上海微技术工业研究院,上海 201800;上海大学微电子学院,上海 201800
折叠

摘要

阵列化微镜设计可以实现微镜的高频工作.本文采用将驱动器隐藏在六边形镜面下方的设计方案来实现微镜阵列单元的制备,减小了微镜尺寸.在镜面内部引入了柔性结构匀散应力,降低微镜应力断裂风险,提高了微镜的可靠性,采用六边形密排的方式可以实现大于 90%的占空比.所设计的微镜可以实现倾斜、偏转和活塞3 种工作自由度,工作频率达到了23000 Hz以上,共振偏转角度可以达到6.5°.对比传统的微镜阵列设计,本文设计提高了空间利用率和致动效率.

Abstract

The arrayed micromirror design can realize high-frequency operation of micromirror.The design scheme of hiding the driver under the hexagonal mirror surface is used to realize the preparation of the micromirror array unit and reduce the size of the micromirror.A flexible structure is introduced inside the mirror to reduce the risk of micromirror stress fracture and improve the reliability of the micromirror.The hexagonal close-packed method can achieve a fill-factor more than 90%.The designed micromirror can achieve three degrees of freedom(DoF)of tilt,deflection and piston.The operating frequency can reach more than 23000 Hz,and the deflection angle of harmonic response can reach 6.5°.Compared to traditional micromirror array,this design improves space utilization and actuation efficiency.

关键词

微机电系统/压电驱动/微镜阵列/高频

Key words

micro-electro-mechanical system(MEMS)/piezoelectric drive/micromirror array(MMA)/high frequency

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基金项目

国家重点研发计划资助项目(2021YFB3202500)

上海市产业协同创新项目(HCXBCY-2021-044)

出版年

2024

传感器与微系统

中国电子科技集团公司第四十九研究所

传感器与微系统

CSTPCD北大核心

影响因子：0.61

ISSN：1000-9787

参考文献量3

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