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机器学习在化学气相沉积中的应用研究进展

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化学气相沉积技术是一种近几十年发展起来的制备无机材料的化工技术.随着机器学习技术的发展,其在化学气相沉积领域也发挥着不小的作用.基于此,本文概述了化学气相沉积的原理与机器学习的发展历程,分析了机器学习在化学气相沉积中的典型应用,总结并分析了未来应用的发展趋势.
Advances on Application of Machine Learning in Chemical Vapor Deposition
Chemical vapor deposition technology is a chemical technology for preparing inorganic materials developed in recent decades.With the development of machine learning technology,it also plays a significant role in the field of chemical vapor deposition.Based on this,this paper firstly outlines the principles of chemical vapor deposition and the development of machine learning,then analyzes the typical applications of machine learning in chemical vapor deposition,and finally summarizes and analyzes the development trend of future applications.

Chemical vapor depositionInorganic materialFilmMachine learning

谢炜、明帅强、夏洋、周兰江

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昆明理工大学 信息工程与自动化学院, 云南 昆明 650000

嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心, 浙江 嘉兴 314000

化学气相沉积 无机材料 薄膜 机器学习

中科院关键技术团队项目

GJJSTD20200003

2024

材料科学与工程学报
浙江大学

材料科学与工程学报

CSTPCD北大核心
影响因子:0.765
ISSN:1673-2812
年,卷(期):2024.42(2)
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