城市建设理论研究(电子版)2016，Issue(1) ：925-925.

浅谈集成电路厂房洁净室暖通设计

姜皓杰
城市建设理论研究(电子版)2016，Issue(1) ：925-925.
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浅谈集成电路厂房洁净室暖通设计

姜皓杰1
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  • 1. 三星（中国）半导体有限公司
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摘要

电子工业的飞速发展，推动了洁净室技术的发展，同时对洁净空调的设计提出了更高要求。电子工业洁净厂房的设计是一项综合技术，只有充分了解电子工业洁净厂房的特点，运用计算机等工具作为辅助手段，做到设计合理，才能设计出优秀的项目。本文论述了集成电路生产厂房洁净室的空调系统设计和机械排烟系统设计的几种不同方案形式。

关键词

集成电路厂房/洁净室/暖通设计

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出版年

2016
城市建设理论研究(电子版)

城市建设理论研究(电子版)

影响因子：0.228
ISSN：
参考文献量2
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