城市建设理论研究(电子版)2016，Vol.6Issue(8) ：2088-2089.

半导体材料加工过程的化学方法应用

陈珊珊
城市建设理论研究(电子版)2016，Vol.6Issue(8) ：2088-2089.
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半导体材料加工过程的化学方法应用

陈珊珊
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摘要

在半导体材料的加工过程中，通常在磨片后还要经历化学腐蚀、化学机械抛光和清洗等步骤，而这些步骤都与化学作用密切相关，随着超大规模集成电路对半导体材料的质量要求日益提高，目前的半导体加工工艺受到了挑战。更为精细的加工工艺对化学反应的理解提出了要求。下文将着重介绍半导体材料的化学缓蚀、化学机械抛光和清洗步骤的化学方法的应用。

关键词

半导体材料/加工/化学方法/应用

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出版年

2016
城市建设理论研究(电子版)

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影响因子：0.228
ISSN：
参考文献量2
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