电镀与涂饰2021，Vol.40Issue(19) ：1494-1500.DOI:10.19289/j.1004-227x.2021.19.007

AZO基双层/多层薄膜的制备及性能

Preparation and properties of AZO-based bilayer/multilayer films

赵佳乐 段林烨 邹石坪 李保家 杨光宇 黄立静
电镀与涂饰2021，Vol.40Issue(19) ：1494-1500.DOI:10.19289/j.1004-227x.2021.19.007
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AZO基双层/多层薄膜的制备及性能

Preparation and properties of AZO-based bilayer/multilayer films

赵佳乐 1段林烨 1邹石坪 1李保家 2杨光宇 1黄立静3
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作者信息

  • 1. 江苏大学材料科学与工程学院,江苏 镇江 212013
  • 2. 江苏大学材料科学与工程学院,江苏 镇江 212013;江苏大学微纳光电子与太赫兹技术研究院,江苏 镇江 212013
  • 3. 江苏大学微纳光电子与太赫兹技术研究院,江苏 镇江 212013;江苏大学机械工程学院,江苏 镇江 212013
  • 折叠

摘要

采用磁控溅射法在普通钠钙浮法玻璃表面先获得厚度为50 nm的AZO(掺铝氧化锌)底层,然后制备出不同Ag层厚度(4、6、8或10 nm)的Ag/AZO双层膜以及不同AZO顶层厚度(10、30、50或70 nm)的AZO/Ag/AZO多层膜,考察了它们的表面形貌、晶体结构、方块电阻、透光率和品质因子.结果表明,Ag层厚度为6 nm时,Ag/AZO双层膜表面Ag粒子分布均匀,致密度较好,晶粒尺寸最大,综合性能最佳.在此双层膜的基础上沉积50 nm厚的AZO顶层可以较好地覆盖Ag层,提高薄膜的致密度,令晶粒尺寸明显增大,得到综合性能最佳的AZO/Ag/AZO多层膜.

关键词

掺铝氧化锌薄膜/磁控溅射/银层/厚度/方块电阻/透光率/品质因子

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基金项目

国家自然科学基金(51805220)

江苏大学科研课题立项项目(19A018)

出版年

2021
电镀与涂饰
广州市二轻工业科学技术研究所

电镀与涂饰

CSTPCD北大核心
影响因子：0.47
ISSN：1004-227X
被引量1
参考文献量5
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