兆声功率密度对同轴兆声辅助喷射电沉积镍的影响

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中文摘要：[目的]金属微器件在电沉积过程中往往会产生较大的残余应力,对微器件的尺寸精度、力学性能和良率产生不利影响.[方法]为降低镀层的残余应力,在喷射电沉积镍过程中施加同轴兆声辅助.研究了兆声功率密度对Ni镀层形貌、表面粗糙度、显微硬度和残余应力的影响.[结果]施加同轴兆声辅助后,所得Ni镀层的宏观和微观形貌都有所变差,表面粗糙度略微增大,显微硬度变化不大,但残余应力显著降低.当兆声功率密度为10 W/cm2时,Ni镀层的残余应力最低,比无兆声辅助时所得Ni镀层低了37.75％.[结论]在电沉积过程中施加兆声辅助能够有效降低镀层的残余应力.

外文标题：Effect of power density of coaxial megasonic agitation on jet electrodeposition of nickel

外文关键词：

microdevicejet electrodepositionnickelresidual stressmegasonic agitation assistancepower density

作者：

翟科、周丰、梁勇康、马仕豪、李腾楠、杜立群

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作者单位：

河北大学质量技术监督学院,河北保定 071002

大连理工大学高性能精密制造国家重点实验室,辽宁大连 116024

关键词：

微器件喷射电沉积镍残余应力兆声辅助功率密度

基金：

国家重点研发计划河北省自然科学基金

项目编号：

2022YFB4601602E2022201028

出版年：

2024

DOI：

10.19289/j.1004-227x.2024.01.001

电镀与涂饰

广州市二轻工业科学技术研究所

电镀与涂饰

CSTPCD北大核心

影响因子：0.47

ISSN：1004-227X

年,卷(期)：2024.43(1)

参考文献量7