电声技术2021，Vol.45Issue(7) ：21-29.DOI:10.16311/j.audioe.2021.07.006

微系统技术发展现状及趋势

Development Status and Trends of Microelectronic Information System

朱晓枭 周瑜 刘云飞 冯杰
电声技术2021，Vol.45Issue(7) ：21-29.DOI:10.16311/j.audioe.2021.07.006
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微系统技术发展现状及趋势

Development Status and Trends of Microelectronic Information System

朱晓枭 1周瑜 1刘云飞 1冯杰1
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作者信息

  • 1. 中国电子科技集团公司第三研究所,北京 100015
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摘要

微系统将信息的获取、处理、分析及执行融为一体,整合了传统电子信息系统的各个子系统,具有尺寸小、功能丰富且完整、可靠性高、功耗低以及成本低等特点,在军事、工业及农业等领域有巨大的应用价值和前景.基于此,系统性地阐述微系统的概念,总结微系统技术的发展现状及其趋势,并梳理微系统技术的应用领域和方向.

关键词

微电子信息系统/MEMS/集成技术

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出版年

2021
电声技术
电视电声研究所(中国电子科技集团公司第三研究所)

电声技术

影响因子：0.259
ISSN：1002-8684
被引量6
参考文献量13
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