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硬脆材料皮秒激光微加工试验研究

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硬脆材料微加工中常存在材料易崩裂、刀具磨损严重、加工效率低等不足,引入超短脉冲激光微加工技术,通过光-热-力效应引发材料去除,可有效克服上述加工难题.以羟基磷灰石生物陶瓷、氧化铝工程陶瓷、单晶硅三种典型硬脆材料为加工对象,探索基于皮秒激光的微加工工艺方法,尝试利用激光干切、液体辅助、化学辅助等不同手段,完成微槽、微孔等结构的高质量加工,并分析微加工表面特征形貌,评估工艺方法可行性.
The Experimental Study of Micro-machining of Hard-brittle Materials Using Ultra-short Picosecond Laser

朱浩、张朝阳、徐坤、戴学仁、赵斗艳

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江苏大学机械工程学院激光技术研究所,江苏镇江212013

皮秒激光 硬脆材料 微结构

江苏省自然科学基金-青年基金国家自然科学基金面上项目中国博士后科学基金特别资助项目中国博士后科学基金面上项目江苏大学高级人才科研启动金资助项目

BK20180875516752422019T1203922018M64046118JDG011

2020

电加工与模具
苏州电加工机床研究所 中国机械工程学会特种加工分会

电加工与模具

CSTPCD
影响因子:0.285
ISSN:1009-279X
年,卷(期):2020.(1)
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