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电场诱导压印模具的套刻制备及其实验

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电场诱导压印技术的关键在于能实现压印光刻胶的正向复形,对电场诱导模具的制备提出了较大的挑战.提出一种基于光刻、刻蚀和SU-8胶套刻的方法,实现了电场诱导压印模具的制备,通过Comsol仿真分析了电场分布,设计了支架高度与模具微结构高度,展示了几种不同形状、尺寸的模具结构,并对结构进行了表征.基于电场诱导模具搭建了试验平台,并在导电模具和基材之间施加电场,通过SEM观察成形结果得到,该结果与预计的电场诱导压印复制结构相似,验证了电场诱导套刻模具的适用性.
Fabrication and Experiment of Electric Field Induced Imprinting Mold

黎相孟、田洪淼、祝锡晶

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中北大学机械工程学院,先进制造技术山西省重点实验室,山西太原030051

西安交通大学机械工程学院,机械制造系统工程国家重点实验室,陕西西安710049

电场诱导 压印模具 紫外光刻 套刻 等离子体刻蚀

国家自然科学基金资助项目山西省青年科技研究基金资助项目

51705479201701D001128

2020

电加工与模具
苏州电加工机床研究所 中国机械工程学会特种加工分会

电加工与模具

CSTPCD
影响因子：0.285
ISSN：1009-279X
年,卷(期)：2020.(1)
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