首页|248nm准分子激光旋转加工锥形孔试验

248nm准分子激光旋转加工锥形孔试验

扫码查看
原文链接
  • NETL
  • NSTL
  • 万方数据
采用准分子激光对PMMA板进行加工,通过旋转台完成打孔,并探究多项参数对于微孔深度与锥度的影响.研究发现:在一定范围内,当脉动频率和单脉冲能量增加时,微孔的深度线性增加、锥度线性减小;旋转速度对于微孔的深度和锥度无太大影响;采用较大的三角形掩模加工微孔的锥度最佳.通过选择合适的掩模与参数,加工出的微孔比冲孔法效果更佳.
Experimental on Rotating Drilling of 248 nm Excimer Laser Processing Conical Micro-holes

康博栋、单玉、陈涛、赵宇、杨武雄

展开 >

北京工业大学激光工程研究院,北京100124

激光加工 准分子激光 微孔制造 旋转法

北京市教委科研计划资助项目

KZ201910005009

2020

电加工与模具
苏州电加工机床研究所 中国机械工程学会特种加工分会

电加工与模具

CSTPCD
影响因子：0.285
ISSN：1009-279X
年,卷(期)：2020.(2)
  • 1
  • 4