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状态方程实验用铈微靶的聚焦离子束制备

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由于Ce材料易氧化、易变形,传统的研磨制靶方法已无法获得高精度的Ce材料状态方程靶.针对高活性材料高精微靶制备的难点,引入了聚焦离子束技术进行Al-Ce阻抗匹配靶的制备.在10-4 Pa的高真空下通过Ce靶片的离子束切割、机械手转移、扫描电镜定位、Pt沉积固定、氧化防护Pt膜等,完成了高精度Al-Ce阻抗匹配靶的制备.采用该方法制备的Ce靶,具有氧化程度低、陡直度高、精密程度高、安全性好、成品率高和操作直观等优势.最后通过动态加载状态方程实验证实了聚焦离子束制备高精度微靶的可靠性.
Fabrication of High Accuracy Al-Ce Impedance Matching Target by Focused Ion Beam

路超、任大鹏、张德志、张厚亮、贾果、史鹏

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中国工程物理研究院材料研究所,四川江油621907

上海激光等离子体研究所,高功率激光物理国家实验室,上海201800

状态方程 聚焦离子束 阻抗匹配靶

2020

电加工与模具
苏州电加工机床研究所 中国机械工程学会特种加工分会

电加工与模具

CSTPCD
影响因子：0.285
ISSN：1009-279X
年,卷(期)：2020.(4)
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